База данных по химическим эффектам в химических патентах

Попытка создания макроскопической термодинамической модели конкретного фактора при получении поликремния из трихлорсилана. В основу положено экспериментальное определение хроматографическим методом состава отходящих из реактора газов в различные моменты времени процесса. С помощью теоретических методов физики, химии и математического моделирования определена температура начала и окончания гомогенных химических реакций в смеси водород - хлорсиланы. Получена зависимость к.п.д. реактора от диаметра стержня как отношение реального выхода Si к теоретическому при температуре осаждения. Введено понятие эффективной температуры реактора, при которой реальный выход Si совпадает с теоретическим. Установлена зависимость эффективной температуры от диаметра стержней. Полученные численные характеристики процесса позволили провести теоретическое исследование производительности реактора при произвольных исходных газовых смесях. [РЖХ-1990, реф.20Л30].
SiHCl3 + H2 =(t)=> Si(h) + 3 HCl .
c04rd (Ур.ТР=1 , B1673041, МКИ C01B) "восстановление водородом; ВОССТАНОВЛЕНИЕ ТРИХЛОРСИЛАНА"