База данных применения химических эффектов
основана на ТРИЗ (теория решения изобретательских задач)

На главную страницу | О проекте | Контакты

Вы находитесь здесь: dace.ru / База данных химических эффектов

База данных по химическим эффектам в химических патентах



Глубокая очистка фторидов азота, серы и углерода

Глубокая очистка фторидов азота, серы и углерода для микроэлектроники
Предложены 3 стадии очистки: газогидратная кристаллизация (для очистки SF6 и CF4), низкотемпературная фильтрация от примеси воды, очистка NF3 от N2F4, оксифторидов адсорбцией на силикагеле и Al2O3, низкотемпературная дистилляция для удаления газов N2 и O2. [Тарабуров ПГ, Тезисы докл. 17 Менделеевского съезда по общей и прикладной химии. Казань, КНЦ РАН, т.2, с.310] c08s, c35gh, C01B “сорбция, газогидраты”




dace.ru © 2005-2018 гг.