Электрохимический синтез трифторида азота
Для получения NF3 высокой чистоты, который применяется в микроэлектронике в качестве травящего агента в CVD-процессах, предложено его получать путем электрохимического фторирования фторида аммония в расплаве системы NH4F-HF, электролиз проводить на никелевом аноде. Для того чтобы избежать потерь электролита за счет испарения установлены на выходе конденсаторы, охляждаемые до -74С. Чтобы предотвратить появление в анодном газе продуктов неполного фторирования азота, предложено использовать электролит, обогащенный HF – это способствует образованию в анодном пространстве свободного фтора, который фторирует N2F2 и N2F4 до NF3. В этом методе имеет место высокий выход целевого продукта и отсутствует CF4. [Воротынцев ВМ, Тезисы докл. 17 Менделеевского съезда по общей и прикладной химии. Казань, КНЦ РАН, т.2, с.295] c01og, c05eo, c13sr, C01G “окисление, электролиз расплава”