 |
Вы находитесь здесь: dace.ru / Новости химии / Делать наноструктуры помогают даже трещины
Архивы новостей:
2008 год:
январь, февраль, март, апрель, май, июнь, июль, август, сентябрь, октябрь, ноябрь, декабрь
2009 год:
январь, февраль, март, апрель, май, июнь, июль, август, сентябрь, октябрь, ноябрь, декабрь
2010 год:
январь, февраль, март, апрель, май, июнь, июль, август, сентябрь, октябрь, ноябрь, декабрь
2011 год:
январь, февраль, март, апрель, май, июнь, июль, август, сентябрь, октябрь, ноябрь, декабрь
2012 год:
январь, февраль, март, апрель, май, июнь, июль, август, сентябрь, октябрь, ноябрь, декабрь
2013 год:
январь, февраль, март, апрель, май, июнь, июль, август, сентябрь, октябрь, ноябрь, декабрь
2014 год:
январь, февраль, март, апрель, май, июнь, июль, август, сентябрь, октябрь, ноябрь, декабрь
2015 год:
январь, февраль, март, апрель, май, июнь, июль, август, сентябрь, октябрь, ноябрь, декабрь
2016 год:
январь, февраль, март, апрель, май, июнь, июль, август, сентябрь, октябрь, ноябрь, декабрь
2017 год:
январь, февраль, март, апрель, май, июнь, июль, август, сентябрь, октябрь, ноябрь, декабрь
2018 год:
январь, февраль, март, апрель, май, июнь, июль, август, сентябрь, октябрь, ноябрь, декабрь
2019 год:
январь, февраль, март, апрель, май, июнь, июль, август, сентябрь, октябрь, ноябрь, декабрь
2020 год:
январь, февраль, март, апрель, май, июнь, июль, август, сентябрь, октябрь, ноябрь, декабрь
2021 год:
январь, февраль, март, апрель, май, июнь, июль, август, сентябрь, октябрь, ноябрь, декабрь
2022 год:
январь, февраль, март, апрель, май, июнь, июль, август, сентябрь, октябрь, ноябрь, декабрь
2023 год:
январь, февраль, март, апрель, май, июнь, июль, август, сентябрь, октябрь, ноябрь, декабрь
2024 год:
январь, февраль, март, апрель, май, июнь, июль, август, сентябрь, октябрь, ноябрь, декабрь
Делать наноструктуры помогают даже трещины
Обычно при изготовлении наноразмерных устройств исследователи стараются избегать образования трещин, однако исследователи из Южной Кореи установили, что трещины – это не всегда плохо – если их «приручить», они могут использоваться для получения контролируемых нанорисунков и наноформ. Методика отличается дешевизной и простотой, благодаря чему сможет найти применение в создании электронных и микрокапиллярных систем.
Ку Ню Нам (Koo Hyun Nam), руководитель исследования, отмечает, что методика, разработанная в его группе, отдаленно напоминает то, как древнеегипетские каменщики высекали каменные блоки нужного размера для строительства пирамид. Они вбивали деревянный клин в небольшое отверстие в скале и долго поливали его водой. Клин поглощал воду, набухал и, расширяясь, разрывал камни на части.
Методика, разработанная корейскими учеными, хотя и является более утонченной и высокоточной, но в ее основе лежит тот же принцип. Исследователи использовали процесс плазменного травления для создания крошечных бороздок и уступов на субстрате из кремния, а затем нанесли на обработанную таким способом поверхность тонкий слой нитрида кремния. Зачастую при таком такое осаждении происходит неконтролируемое образование трещин, однако предварительная протравка и формирование канавок и выступов на субстрате способствовало тому, что этот предварительно созданный рельеф управлял движением трещин – канавки способствовали росту трещин, а уступы – останавливали их.
Для демонстрации эффективности разработанной методики Нам с коллегами получил квадратную деталь, на которой были написаны буквы микрометрового размера. При этом разрешение контролируемых трещин и, соответвенно, элементов нанорельефа, зависит только от точности метода, примененного для создания «направляющих» канавок и уступов, а также особенностей осаждения нитрида кремния. Исследователь добавляет, что уверен в том, что возможно создавать наноузоры с точностью, большей, чем 1 мкм, но для этого нужно более точное оборудование или новые подходы к фотомаскировке.
Обычно создание нанорельефа на поверхности систем проводят с помощью методов нанолитографии и травления, однако эти методы слишком дорогие и медленные. Контролируемое образование трещин представляет собой новую методику, которая позволяет получать желаемый результат за меньшее время и меньшую стоимость. Новая методика совместима с существующими метолами производства полупроводников, что, в перспективе, позволит использовать новый подход для получения кремниевых микросхем новых поколений. Новая методика также может оказаться очень полезной и для создания микрокапиллярных систем, которые часто применяются для изучения и работы с биологически активными молекулами.
Владимир Антонов (Vladimir Antonov), эксперт по изготовлению наносистем, отмечает, каким образом методика корейских исследователей может быть модифицирована – например покрытие из нитрида кремния можно наносить при более высокой температуры, что, теоретически, должно влиять на распространение трещины, не позволяя ей глубоко проникать в структуру кремния. Он также предполагает, что у методики Нама большое будущее.
Источник: Nature, 2012, 485, 221 (DOI:10.1038/nature11002)
Источник: http://www.chemport.ru
16.05.2012 13:59 | |
|
